回轉(zhuǎn)工作臺(tái)是數(shù)控設(shè)備中的重要附件之一。它的主要功能是將兩個(gè)數(shù)控工作臺(tái)組裝在一起后,構(gòu)成X-Y數(shù)控工作臺(tái),實(shí)現(xiàn)兩個(gè)坐標(biāo)的定位和聯(lián)動(dòng),由底座、導(dǎo)軌、滾珠絲杠螺母副、電動(dòng)機(jī)座、絲杠支承機(jī)構(gòu)、滑板、行程開關(guān)、防護(hù)罩等部件組成的。主要用于數(shù)控鏜銑床,它的功用是使用進(jìn)行周圍進(jìn)給運(yùn)動(dòng),以完成切削工作,并進(jìn)行分度運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),通過減速齒輪和帶動(dòng)蝸桿,再傳遞蝸桿,使工作臺(tái)回轉(zhuǎn)。數(shù)主要用途是落地銑鏜床,端面銑床等工作母機(jī)*的主要輔機(jī)。并使行到不同位置時(shí),空載推動(dòng)力一致,滑板移動(dòng)的直線性、滑板平面與移動(dòng)方向的平行度、滑板平面與底座底面的平行度都須符合規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)??捎米髦С泄ぜ渥髦本€或回轉(zhuǎn)等調(diào)整和進(jìn)給運(yùn)動(dòng),以擴(kuò)大工作母機(jī)的使用性能,縮短輔助時(shí)間,廣泛適用于能源,冶金。
在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過程中,往往需要實(shí)現(xiàn)一定度數(shù)范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)、定位從而滿足加工工藝的要求。因此,實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)落位,是半導(dǎo)體專用設(shè)備制造關(guān)鍵技術(shù)。為此我們就應(yīng)該對(duì)使用方法有所了解。下面我們就從工件與回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的使用上面做簡單總結(jié):
安裝和校正方法如下:
1、將回轉(zhuǎn)臺(tái)安裝、找正,即回轉(zhuǎn)中心與主軸中心重合,電子尺X和Y歸零,并準(zhǔn)備90°定位塊和百分表等工具。
2、移到X、Y為零,即主軸中心與回轉(zhuǎn)臺(tái)中心重合。
3、將工件進(jìn)行鉗工劃線,找樣沖。
4、根據(jù)劃線,將主軸中心大約對(duì)準(zhǔn)工件的回弧中心,用定位塊略靠近工件(保持一定的調(diào)整量△),緊固定位塊。
5、用百分表檢查定位塊的X(或Y)方向與回轉(zhuǎn)臺(tái)X或Y)方向的平行度,轉(zhuǎn)動(dòng)回轉(zhuǎn)臺(tái)調(diào)整至無誤,歸零,鎖緊。
6、分別用分中棒檢查定位塊X和Y方向到回轉(zhuǎn)中心的距離,并將所測(cè)得的X和Y值記下,作為下一步加工工件上圓弧的定值(即A和B)。